精密加工零配件
精密加工零配件
光洋具多年精密加工经验，结合精密加工、精细冶金、模块化与组装、工程应用以及半导体及检测等能力，制造半导体设备使用的零配件
- 在半导体领域可提供电镀 (ECD)、蚀刻 (Etching)、离子布植 (Ion implanting) 以及物理气相沉积 (PVD) 四大制程专用设备耗材，适用于业界各主流机台。
- 提供材料范围包括硅、石英、陶瓷以及各种金属材料(包括Pt、Au、Ag、 Pt、Pd、Ta、Ti、Al、Cu 、Ni、SUS)与PEEK。
- 可依照客户需求提供合适零件。
| 应用设备 | 零件项目 |
|---|---|
| 电镀 ECD |
1. Probe POT Potentiostatic Copper (Cu) 2. POT Cable Kit (Cu) 3. Titanium Fastener 4. Wafer Contact Ring |
| 蚀刻 Etching |
1. Insert Ring, Si Ring 2. RF Gasket |
| 离子布植 Ion Implanter |
1. Ta Parts 2. Ag Parts 3. NiFe Parts 4. PEEK Insert Ring 5. Graphite Parts |
| 物理气相沉积 PVD |
1. Ta Coil 2. SUS Clamp |
